多功能鍍膜設備

簡要描述：1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。
2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動控制系統等組成。
3.該設備主機與控制一體化設計，操控方便；結構緊湊，占地面積小。

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詳細介紹

品牌	LEBO/雷博

　　多功能鍍膜設備為立式雙開門結構，是一款集直流磁控濺射鍍膜技術、電阻蒸發鍍膜技術、CVD鍍膜技術及中頻離子清洗系統相結合的復合型設備，適應客戶復雜的產品工藝切換；真空室內可一次性完成金屬膜及保護膜制程，防止二次工序污染。

　　多功能鍍膜設備結構緊湊，占地面積小；雙開門結構，無待機時間，生產效率高；膜層均勻性好，光潔度高。設備可適用于車燈、車標、車內飾件等不同產品，可鍍制金屬膜層，如Ti、Cu、Al、Cr、Ni、SUS、Sn、In等材料。

　　1.MS450是一臺高真空磁控濺射鍍膜設備。

　　2.設備主要由真空室、濺射靶槍、濺射電源、加熱樣品臺、流量控制系統、真空獲得系統、真空測量系統、氣路系統、PLC+觸摸屏自動控制系統等組成。

　　3.該設備主機與控制一體化設計，操控方便；結構緊湊，占地面積小。

　　4.主要用途：

　　1. 開發納米級單層、多層及復合膜層等。

　　2. 制備金屬膜、合金膜、半導體膜、陶瓷膜及介質膜等，例：銀、鋁、銅、鎳、鉻、鎳鉻合金、氧化鈦、氮化鈦、氮化鉻、ITO......

　　3. 兩靶單獨濺射、依次濺射、共同濺射。

　　5.應用領域：

　　1. 高校、科研院所的教學、科研實驗及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等。

　　2. 鈣鈦礦太陽能電池、OLED、OPV 太陽能電池等行業。

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